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超高真空系统密封连接常用的是国标超高真空法兰,采用刀口密封结构和无氧铜平垫圈,可以满足超高真空密封,应用技术较为成熟。超高真空法兰一般采用不锈钢制造,其强度硬度均能满足密封要求,且不锈钢生产制造技术成熟,应用广泛。
本标准规定了内焊型、松套型、盲型超高真空法兰(以下简称法兰)和铜密封垫的型式、尺寸及技术要求。
本标准适用于超高真空系统中公称通径为16mm~250mm用铜垫密封的不锈钢法兰及铜密封垫。
标准参数内容如下:
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